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超精密加工的空氣凈化等級必須達到100~10000級。清潔是最常見的空氣凈化方式，凈化后的加工車間稱為潔凈室、超潔凈室。一般而言，凈化主要有兩種類型，一種是整體凈化，一種是局部凈化。局部凈化具有經濟性，通過使正壓的清潔空氣流入工作臺等
