超精密加工的空氣凈化等級必須達到100~10000級。 清潔是最常見的空氣凈化方式，凈化后的加工車間稱為潔凈室、超潔凈室。 一般而言，凈化主要有兩種類型，一種是整體凈化，一種是局部凈化。 局部凈化具有經濟性，通過使正壓的清潔空氣流入工作臺等局部加工區域，防止外部空氣流入，實現凈化。 由于工作人員的頭發、工作服等可能帶來灰塵，在進入工作前，工作人員必須清理室外更換特制衣物，被風淋濕，有效避免灰塵對加工質量的影響。

加工機理的影響分析是近年來新技術、新設備不斷涌現，精密加工也應不斷加大研究力度，探索新的加工方式。 從傳統加工方面來說，金剛石刀具的超精密加工、精密高速加工、精密研磨帶磨削、磨料加工等已經取得了很好的效果； 從非傳統加工方面來說，激光束、電子束及離子束等多種高能束精密加工、超聲波加工、電火花加工及電化學加工等具有明顯優勢，特別是組合加工方式的應用，如超聲波珩磨、電解研磨等技術其突破性發展的意義在于，主要表現在去除加工的明確提出，加工與變形加工的有效融合，特別是疊加加工快速成形的優勢，對加工技術的發展具有十分重要的促進作用。